Мини моторлы сызыклы этаплар: WN267TA20H

Сәяхәт диапазоны

20 мм

Резолюция

0.125μm

Кабатлану

Μ 1μм

Туры

Μ 2μм

Параллелизм

Μ 5μм

Itch θy

10 ″ （50μrad）

Явинг （θz）

10 ″ （50μrad）

Максималь тизлек

5 мм / сек

Йөкләү сәләте

10 кг

Авырлык

1,5 кг

Үзенчәлекләр:
Ultгары бүлекчәле мотор йөртүчесе, югары резолюция ярдәмендә ультра төгәл моторлы этап.

Importгары төгәллекне, компактны тәэмин итү өчен, югары төгәллек ультра-нечкә сызыклы слайд, яхшы көйләү өчен беренче сайлау