Сәяхәт диапазоны
20 мм
Резолюция
0.125μm
Кабатлану
＜1μм
Туры
＜2μм
Параллелизм
＜5μм
Питчинг
10 ″（50μrad）
Явинг
Максималь тизлек
5 мм/ сек
Йөкләү сәләте
10 кг
Авырлык
1,5 кг
